Nitrogen Trifluoride (NF3) entona madio tsara
Fampahalalana fototra
| čas | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Inona ity fitaovana ity?
Nitrogen trifluoride (NF3) dia entona tsy misy loko sy tsy misy fofona amin'ny mari-pana amin'ny efitrano sy ny tsindry amin'ny atmosfera. Mety ho liquefied amin'ny tsindry antonony. Ny NF3 dia miorina amin'ny toe-javatra mahazatra ary tsy mora levona. Mety ho levona anefa izy io rehefa tratran’ny hafanana be na eo anatrehan’ny catalyst sasany. Ny NF3 dia manana tanjaky ny hafanan'ny tany (GWP) avo lenta rehefa mivoaka eny amin'ny habakabaka.
Aiza no hampiasana ity fitaovana ity?
Mpiasan'ny fanadiovana ao amin'ny indostrian'ny elektronika: Ny NF3 dia ampiasaina betsaka ho toy ny mpanadio amin'ny fanesorana ireo loto sisa tavela, toy ny oxides, amin'ny tampon'ny semiconductor, tontonana plasma (PDP), ary singa elektronika hafa. Afaka manadio amin'ny fomba mahomby ireo surface ireo nefa tsy manimba azy ireo.
Entona fanosotra amin'ny fanamboarana semiconductor: NF3 dia ampiasaina ho entona etsa amin'ny dingan'ny famokarana semiconductor. Izy io dia mahomby indrindra amin'ny fametahana gazy silisiôma (SiO2) sy nitride silisiôma (Si3N4), izay fitaovana mahazatra ampiasaina amin'ny fanamboarana ny circuit integrated.
Famokarana kapoaky ny fluorine madio indrindra: Ny NF3 dia loharanon-tsarobidin'ny fluorine ho an'ny famokarana zavatra simika misy fluorine isan-karazany. Izy io dia ampiasaina ho mpialoha lalana amin'ny famokarana fluoropolymers, fluorocarbons, ary simika manokana.
Famoronana Plasma amin'ny famokarana tontonana fisaka: Ny NF3 dia ampiasaina miaraka amin'ny entona hafa mba hamoronana plasma amin'ny famokarana takelaka fisaka, toy ny fampisehoana kristaly rano (LCD) sy PDP. Ny plasma dia tena ilaina amin'ny fizotran'ny déposition sy etching mandritra ny fanamboarana tontonana.
Mariho fa ny fampiharana sy fitsipika manokana momba ny fampiasana an'ity fitaovana/vokatra ity dia mety miovaova arakaraka ny firenena, ny indostria ary ny tanjona. Araho foana ny torolalana momba ny fiarovana ary miresaha amin'ny manam-pahaizana iray alohan'ny hampiasana ity fitaovana/vokatra ity amin'ny fampiharana rehetra.
